1 等离子焰流
当等离子焰流进入低真空环境时，其形态和特性都将发生变化，射流比大气等离子射流体积膨胀，密度变小，射流速度提高，弧柱和射流显著拉长。如超低等离子焰流可长达2m，直径可达200~400mm，而一般LPPS过程中等离子焰流直径为50mm。图1为不同压力下等离子焰流形貌。
2 大面积薄涂层制备
由于超低压等离子喷涂焰流的温度和速度分布均比LPPS状态更均匀，而且覆盖面积大，同时喷枪可以通过快速移动的机械手控制，能高速沉积出大面积高质量的薄涂层，每道次沉积的厚度可控制在<0.5μm以下，沉积速度10µm/min/m2，涂层中的应力可以减到最小，这可保证涂层有高的内聚强度和与基体之间有良好的结合强度。因此适于快速制备大面积、致密均质薄涂层。
3 涂层组织结构可控
超低压等离子喷涂技术工艺参数调节范围大，可在不同真空度下制备涂层。既可以实现由液相→固相的沉积，也可实现由气相→固相的沉积，也就是说既可得到层状的组织结构，又可得到柱状的组织结构。此外，在同一工艺过程中调节相关参数，还可以制备出组织结构交叉的特殊功能涂层，如层状组织与柱状组织混合结构。
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