等离子喷涂技术出现于60多年前,经过不断的改进和发展,现在已经非常成熟,喷涂的各种金属涂层、陶瓷涂层和封严涂层等广泛应用于航空航天、印刷、钢铁、汽车、纺织等领域。近年来,等离子喷涂设备发展也很快,电源从可控硅电源发展成以逆变电源为主,气体流量控制也从浮子流量计控制变为更精确的质量流量计控制。
目前等离子喷涂常用的喷枪主要有Sulzer Metco公司的7M、9MB和F4(原理图如图1所示以及Praxair公司的SG100,最大工作功率在40~80kW,主要存在以下3个方面的问题:
(1)等离子参数漂移。即在喷枪使用过程中,同样的气体流量参数情况下,等离子电流和电压随使用时间变化,实际工作功率不断下降,导致涂层质量不一致,沉积效率降低。
(2)操作窗口窄。最大可靠工作功率在40~80kW,工艺参数调整范围窄,限制了等离子体温度和速度的调整。
(3)等离子喷枪部件的阴极和阳极寿命短。由于等离子弧的不稳定(沿径向和轴向运动)和非常高的等离子电流,导致阴极和阳极寿命不高(一般小于50h),而且阴极和阳极蒸发出来的Cu或W容易污染涂层。近年等离子喷枪主要发展方向之一是降低等离子电流,提高等离子电压,同时设法稳定等离子弧的运动,从而降低阴极表面温度,延长阴极和阳极的使用寿命。
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