超低压等离子喷涂设备与低压等离子喷涂设备组成基本相同，主要区别在于真空系统及喷枪。真空系统采用大功率罗茨泵，以获得超低压状态；喷枪一般采用大功率等离子喷枪，提高等离子焰流能量。
典型的超低压等离子喷涂设备主要由真空系统、等离子喷枪系统、送粉系统、控制系统、沉积室、抽风除尘系统等组成。图2为SulzerMetcoAG公司超低压等离子喷涂系统，该系统采用直流大功率等离子喷枪，垂直方向喷射。在进气量为200SLPM下，动态工作压力达到100Pa以下。该系统主要有以下特点：
（1）真空系统：容积大于4000L；
（2）喷枪系统：配备180KW大功率O3CP等离子喷枪，电弧电流可以达到2500A，如图3所示；
（3）行走机构：四轴行走结构，可水平、上下移动，最大限度地利用了真空室空间，喷涂距离最大可达1.3m；
（4）工件尺寸：最大可喷涂700×700mm尺寸的平板，可实现不同型面涂层制备，如管状、圆片状等。
（5）控制系统完全由“PLC+PC”进行闭环控制，可以操作并显示等离子喷涂工艺和真空室状态，能自动监控及显示喷涂参数。
（6）红外测温装置：配备最高温度为2000℃的红外测温仪，可实时显示工件温度。
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