压电陶瓷是一种非常重要的功能陶瓷材料,主要应用于国防、航空航天及通信等方面。钛酸铅、钛酸钡是常用的压电陶瓷材料,钛酸铅的特点是居里温度高、机电耦合系数高和介电常数小;钛酸钡(BaTiO3)具有高介电性能、优异的铁电、介电、热释电以及良好的压电性能,作为一种重用压电陶瓷材料在绝缘子、压电传感器、电容器等电子元件中应用广泛。在等离子喷涂过程中,由于钛酸钡粉末熔点低,获得的涂层具有致密、孔隙率低、粘结性好的特性。由于过去制备压电陶瓷采用烧结的方法,这种传统方法效率低,且制备较为复杂,制约了压电陶瓷的发展。采用等离子喷涂的方法制备压电陶瓷相比传统的方法具有效率高、重复性好、可规模化生产的优点,压电陶瓷涂层的厚度可以达到十几微米,作为一种新的方法,等离子喷涂制备压电陶瓷具有广泛的应用前景。其中PavelCtibor通过实验验证了使用等离子喷涂制备的BaTiO3涂层具有良好的机械性能。A.H.Dent通过火焰喷涂制备了BaTiO3和(Ba,Sr)TiO3涂层,结果显示涂层具有良好的力学性能和压电性能。国内学者对于离子喷涂制备压电陶瓷涂层的研究还较少,王海斗等人使用超音速等离子喷涂的方法以调质45#钢为基体制备了BaTiO3压电涂层,结果表明基体与BaTiO3涂层间的结合为机械结合,超音速等离子喷涂制备的BaTiO3压电涂层获得了较好的综合性能。陈淼等人采用等离子喷涂工艺在45#钢基体表面制备了钛酸钡铅涂层,通过研究表明钛酸钡铅涂层满足了压电陶瓷实际应用的条件。
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