MoS2被称作润滑之王,在高真空条件下具有优良的润滑性能,已广泛应用于真空环境、宇宙飞船以及切削工具和模具。但是它的抗潮湿性能较差,在潮湿环境中其摩擦系数较高而磨损寿命降低,与石墨正好相反。庄大明分别用离子束增强沉积法和磁控溅射法,在离子束增强沉积的Si3N4和TiN膜的表面制取了MoSx;摩擦磨损实验表明,这两种膜的耐磨性能比Si3N4和TiN膜高3~4倍。陈焘研究了磁控溅射制备防锈MoS2 薄膜的沉积工艺,制备的MoS2+SbO膜在相对湿度85%以上大气环境中具有优良的防锈性能。为提高MoS2溅射膜的抗湿性和耐磨性,许多研究者尝试在MoS2 中通过共沉积掺杂少量Ti、Cr、Zr、W等金属元素或陶瓷,利用材料的协同效应克服纯MoS2薄膜的弱点。其中,将Ti添加到MoS2薄膜中形成的MoS2/Ti复合薄膜展现出非常显著的性能改进。李永良采用直流磁控溅射方法在SKD211钢制备了MoS2/Ti复合膜,进行摩擦磨损实验,MoS2/Ti复合膜能降低钢表面的摩擦系数。韩成名用非平衡纳米复合等离子体镀膜法(NCUPP)制备了TiN-MoS2/Ti多相纳米复合膜, 具有良好的摩擦学性能,抗潮湿氧化能力明显提高。Reneviev等用CFUBMSIP技术制备了MoS2/Ti复合膜,通过添加Ti过渡层,并在MoS2中复合一定比例Ti,其耐湿性能大幅提高,膜层膜基结合力Lc≥80N,承载能力可达4GPa,摩擦系数低(μ=0.045,100N),显微硬度1000~2000HV,摩擦力随载荷的增大而减小,磨损率为4.0×10-17m3/ (N·m)。国内外学者对CFUBMSIP技术制备MoS2-Ti复合薄膜的制备工艺、力学性能、组织结构和生长特性进行了大量研究,取得了很多研究成果。
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