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DLC类金刚石固体润滑膜

时间:2020-03-27 17:18:30  来源:  作者:

 类金刚石膜(DLC)是一种具有良好摩擦学性能的新型薄膜材料,具有膜层硬度高、化学稳定性好和优良的生物相容性。类金刚石是由sp2sp3杂化的碳原子共同组成的非晶体,化学稳定性好,不受时间和温度的影响,有良好的抗腐蚀能力及抗化学反应能力,在齿轮、轴承、模具、工具、微电子机械等领域应用前景广阔。遗憾的是,DLC薄膜内应力高,同铁基材料之间存在触媒作用,在空气和潮湿环境下摩擦性能差。为了改善其摩擦磨损性能,采用复合膜代替传统单一膜,可降低摩擦系数,提高耐磨性。采用过渡涂层减少DLC膜层内应力,提高膜-基结合力。Voevodin采用磁控溅射技术结合脉冲激光技术,制备了TiC/DLC纳米复合膜,膜层基体温度不超过100℃。Meng等用反应溅射技术结合射频耦合辅助技术,研究了TiC/α-CH复合膜的制备方法,效果非常好。采用脉冲激光技术和磁控溅射技术制备W-C-S系列纳米复合膜。Voevodin采用磁控辅助脉冲激光沉积法制备了WC-DLC-WS2复合膜,研究了nc-WC-nc-WS2/DLC纳米复合膜的摩擦性能,现在不同环境下均保持很低的摩擦系数为0.020.05(硫为0.2左右),具有很强的环境“适应性”,航空航天方面取得了很好应用。


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