等离子体射流的温度最高，气化效果越好。其在热障涂层领域的技术已经成熟，并实现了产业化，如图1为广东省新材料研究所张小锋等人的采用最大工作舱体的Sulzer Metco的PS-PVD设备沉积的环境障涂层和羽毛柱状YSZ热障涂层，经1100℃热循环测试后，典型的柱状结构表现出优异的抗热震性能。由PS-PVD制备的Yb2SiO5相对于APS和其他技术，尤为致密。
图1 PS-PVD制备：a）Yb2SiO5环境障涂层；b）YSZ热障涂层的截面形貌
如图2，由上至下依次为EBakan等人采用了大气等离子喷涂（APS）、超音速火焰喷涂（HVOF）及等离子物理气相沉积（PS-PVD）分别制备的Yb2Si2O7涂层。由图可以看出，APS和HVOF工艺制备的涂层均有较多的未融粒子和裂纹，尤其是APS，较大的残余应力甚至引发了贯穿涂层的垂直裂纹。因此PS-PVD已成为未来涂层制备技术最有前景的手段之一。
图2 PS-PVD，HVOF和APS喷涂Yb2S2O7涂层
除上述工艺以外，Webster等利用化学气相沉积（CVD）在C/SiC表面制备了SiC中间层，再结合流延成型工艺依次制备出Y2O3和SiO2涂覆层，高温烧结后获得较为致密Y2SiO5/Y2Si2O7层。其在1600℃恒温氧化53h后无失重现象，同时也制备出了抗氧化能力相对较弱的疏松的Y2SiO5涂层。Ogura等使用Y203、SiO2作为原材料，通过热等静压法首次在C/C-SiC表面制备了Y2SiO5涂层。该涂层的性能较好，甚至在1700℃高温下对基体进行有效防护，虽然只有10h。西北工业大学的张立同等人也在C/SiC复合材料表面采用了复合技术沉积EBC层-CVD SiC过渡层/浆料浸渍烧结SiCN/Sc2Si2O7和Y2Si2O7/Y2SiO5两种不同表层。SiCN/Sc2Si2O7涂层在1250℃的水蒸气暴露200h后，对基体提供了有效防护，EBC无失重减薄。
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