目前航空发动机的减摩镀层主要有银镀层、铅镀层、铅铟镀层和铅锡镀层等。减摩镀层质量好坏非常重要, 据文献报道, 修理某型发动机时发现中轴承报废率约90%, 最严重磨损厚度达65μm;后轴间轴承减摩层失效, 使低涡轴断裂导致严重问题, 而发动机中介轴承(保持架镀覆减摩涂层)卡滞可能导致机毁人亡, 因此研究减摩镀层性能对保证航空发动机的正常工作有积极意义。)多弧离子镀TiN 薄膜在沉积时会沿着特定的晶面择优生长而形成柱状晶结构。由于这种柱状晶是垂直于薄膜表面生长的, 溶液容易沿晶面对膜层进行腐蚀和渗透, 最后贯穿膜层。Leaven 等认为, 当膜层的针孔很少时, 沿柱状晶晶界的腐蚀是膜层腐蚀失效的主要原因。而对于TiN /AlN 纳米多层膜, 膜层结构的生长方式阻止了薄膜柱状晶结构的形成。金属单质的不同耐蚀特性决定了它们的氮化物薄膜也具有不同的耐蚀特性。一方面, 镀膜原理和工艺决定了这些薄膜中不可避免地含有金属单质, 蒸发出来的金属蒸气可能没有和稀薄的气体发生反应而直接沉积在工件表面;另一方面, 在空气或者含氧腐蚀性介质中, 薄膜的表面会形成一层致密的金属氧化层,这是薄膜产生钝化的原因, 而这层金属氧化层的耐腐蚀性能与相关金属的耐蚀性能密切相关。也就是说铝的钝化作用也使TiN/AlN 薄膜耐蚀性提高。TiN /AlN 纳米多层膜的层结构具有一定的封孔作用。采用多弧离子镀技术制备了3.7nm 和7.1nm 的TiN/AlN纳米多层膜, 厚度为3.7nm 薄膜为典型的超晶格结构, 其中的AlN以立方形式生长。由于TiN/AlN纳米多层膜中铝的钝化作用及特殊的层结构, TiN/AlN纳米多层膜比TiN薄膜具有更优良的耐腐蚀性能。
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