草酸盐沉淀法具有操作简单，生产耗时短，高效率等优点，并且草酸盐沉淀得到的产物粒度分布均匀，产物纯度高。在稀土氧化物工业生产中常被应用。稀土草酸盐沉淀如下反应所示：
2RE3+ + 3H2C2O4 + 10H2O → RE2 (C2O4) 3· 10H2O↓ + 6H+
由于草酸盐沉淀法在工业应用中的优异表现，MEI 等研究者研究了以草酸为沉淀剂，以载铈的P507有机相为原料，采用气提沉淀法制备了氧化铈的前驱体。并在500 ℃的温度下煅烧制备了纳米氧化铈颗粒。经过一系列的检测结果表明，草酸浓度对前驱体的形貌影响不大，前驱体为块状 Ce2(C2O4)3· 10H2O 呈单斜晶格结构。随着有机相的草酸水溶液的体积比在1.3~1.6之间变化，前驱物Ce2(C2O4)3·10H2O的形态由不均匀的块状逐渐变成均匀的球形颗粒。经煅烧可转化为具有萤石结构的CeO2晶体颗粒，产物二氧化铈颗粒在尺寸和形貌上与前驱体相似。
草酸沉淀法工艺操作简单，也能获得粒径小的稀土草酸盐沉淀，但在沉淀过程中晶核之间发生不可避免碰撞与结合，导致稀土草酸盐粒径较大，导致产物粒径分布不均; 而且在实验条件的控制中，pH值过高会生成稀土氢氧化物沉淀，导致在后续干燥、煅烧后产生坚硬的稀土氧化物团聚体。草酸沉淀法会消耗大量的草酸，提高了工艺的成本；而且在稀土草酸沉淀后也会产生大量的草酸废水，对环境造成很大压力。后续有研究者针对草酸盐沉淀法草酸消耗大，产生大量草酸废水等缺陷，研究了利用草酸废水回收草酸等工艺，此方法有利于草酸的循环使用，降低生产成本，减少对环境的伤害。
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