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用离子-原子沉积法制备金属涂层的机理

时间:2012-07-03 16:01:40  来源:俄罗斯杂志  作者:佚名

摘译:应用扫描隧道电镜,研究了用热喷涂工艺和离子 原子沉积法在硅片上涂覆金和铂涂层的微凸纹,并探讨其机理。认为,被吸附的原子聚集到许多孤立的生核微区,形状相似者再固结长大,从而形成涂层。由于喷涂系数的非均质性,这种涂层的微凸结构是以对移性原子级平整的球形微区超晶格而成形的。

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